Трифторид азоту (NF3) Газ високої чистоти
Основна інформація
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Що це за матеріал?
Трифторид азоту (NF3) є безбарвним газом без запаху при кімнатній температурі та атмосферному тиску. Його можна розрідити під помірним тиском. NF3 стабільний за нормальних умов і не розкладається легко. Однак він може розкладатися під впливом високих температур або в присутності певних каталізаторів. NF3 має високий потенціал глобального потепління (GWP) при викиді в атмосферу.
Де використовувати цей матеріал?
Чистячий засіб в електронній промисловості: NF3 широко використовується як миючий засіб для видалення залишкових забруднень, таких як оксиди, з поверхонь напівпровідників, панелей плазмових дисплеїв (PDP) та інших електронних компонентів. Він може ефективно очистити ці поверхні, не пошкоджуючи їх.
Газ для травлення у виробництві напівпровідників: NF3 використовується як газ для травлення у процесі виробництва напівпровідників. Він особливо ефективний у травленні діоксиду кремнію (SiO2) і нітриду кремнію (Si3N4), які є поширеними матеріалами, що використовуються у виготовленні інтегральних схем.
Виробництво сполук фтору високої чистоти: NF3 є цінним джерелом фтору для виробництва різноманітних фторовмісних сполук. Він використовується як прекурсор у виробництві фторполімерів, фторвуглеців і спеціальних хімікатів.
Генерація плазми у виробництві плоских дисплеїв: NF3 використовується разом з іншими газами для створення плазми у виробництві плоских дисплеїв, таких як рідкокристалічні дисплеї (LCD) і PDP. Плазма є важливою в процесах осадження та травлення під час виготовлення панелей.
Зверніть увагу, що конкретні застосування та правила використання цього матеріалу/продукту можуть відрізнятися залежно від країни, галузі та призначення. Завжди дотримуйтесь інструкцій з техніки безпеки та проконсультуйтеся з експертом перед використанням цього матеріалу/продукту в будь-якому застосуванні.
